本资料仅用于学习和讨论,如有侵权请反应 1、半导体制造工艺流程-要求 1.1 英特尔50亿纳米的制作工艺 2、第一步 晶圆加工 2.1 第一步 晶圆加工 2.2 第二步 氧化 2.3 第三步 光刻 2.4第四步 刻蚀 2.5 第五步 薄膜沉积 2.6 第六步 互连 2.7 第七步 测试 2.8 第八步 封装